懸臂式三坐標測量機是測量和獲得尺寸數據的最有效的方法之一，因為它可以代替多種表面測量工具及昂貴的組合量規，并把復雜的測量任務所需時間從小時減到分鐘，這是其它儀器而達不到的效果。三坐標測量機在機械、電子、儀表、塑膠等行業廣泛使用。
懸臂式三坐標測量機作為高精度的測量設備，其最大的優點當然是精度高，最高精度可以達到1微米，甚至更高。為了保證三坐標如此的高精度，高品質品牌的三坐標測量機的光柵尺的精度更是達到了納米級別，三坐標測量機使用的進口高品質光柵尺的精度就達到了0.078微米。
懸臂式三坐標測量機的另一個優點就是測量的特征多，幾乎所有類型的尺寸測量，三坐標測量儀都可以進行測量，通過構造特征，更是可以對平面度，圓度，同心度等等進行檢測。三坐標測量儀使用的軟件pc-dmis軟件，還可以導入CAD數模進行脫機檢測，使三坐標測量機不止有測量特征多，還具有測量速度快，效率高等優點。
每一種設備都不能保證絕對的無誤，總有會存在著優點和缺點，這就跟設計軟件一樣，再厲害的程序設計師制作出來的軟件，都會存在著各種各樣的bug，需要不斷的測試和升級，修補漏洞，使其不斷的更好發展。三坐標測量儀雖然屬于一種高精密的測量儀器，是為了給其他生產產品的質量把關的，但是他也同樣會存在著優點和缺點。
針對微小，易變形的工件，難以進行測量，是三坐標測量儀的缺點。因為三坐標測量機使用的是測頭探針進行接觸式的測量，如果工件太細小，探針無法進行探測，或者工件為軟薄等材質，接觸時會發生變形等等情況，都無法使用三坐標測量機進行測量。不過隨著三坐標測量機的發展，這一缺點正在慢慢的被修補，目前部分三坐標廠家，已經開始推出復合式三坐標測量儀，讓非接觸測量和接觸式測量進行結合的一種新型測量儀器。