目前我國大部分制藥企業對潔凈區域空間進行消毒滅菌，主要采用甲醛熏蒸以及臭氧的方式，對物體表面進行消毒滅菌，則主要采用消毒液擦拭或者浸泡的方式。
而所使用的消毒劑或多或少存在環保問題、安全問題以及消毒滅菌不徹底等問題，特別是在空間消毒應用最多的甲醛，毒性很大，長期接觸會引發呼吸功能障礙和肝中毒性病變，這種甲醛熏蒸方式在發達國家已禁止在食品和藥品生產車間使用。
20世紀 80 年代，美國的研究人員首先發現汽態過氧化氫的殺滅細菌能力大于液態過氧化氫的 200 倍以上。
即過氧化氫在汽態下僅需較低的濃度即可達到高濃度液態過氧化氫具備的殺滅孢子能力，1990 年汽化過氧化氫正式通過美國 EPA 核準，并很快在各個工業領域運用。
由此出現了兩種不同利用過氧化氫汽體的滅菌技術: 即汽化過氧化氫滅菌技術和過氧化氫“干霧”滅菌技術。
01 汽化過氧化氫滅菌技術
汽化過氧化氫滅菌技術主要是利用閃蒸技術，將高濃度的過氧化氫溶液( 濃度一般大于 30% ) 滴加至加熱的光滑金屬物體表面使其瞬間汽化為化 2 ～ 6 微米的顆粒，再噴射到環境中進行消毒滅菌。目前主要分為兩大陣營，分別為美國Steris的干法 VHP ( Vaporized HydrogenPeroxide) 滅菌技術和英國 Bioquell的濕法 HPV ( Hydrogen Peroxide Vapour) 滅菌技術。
目前汽化過氧化氫滅菌法已成為各國藥典、藥品生產質量管理規范( GMP) 、消毒滅菌技術規范所推薦的方法，滅菌工藝已經非常成熟，重復性好，有專門的化學指示劑和生物指示劑驗證過氧化氫汽體分布均勻情況和無菌保證水平。可廣泛應用于在生物制藥、醫療衛生、生物實驗室和動物研究實驗室等諸多領域。
02 過氧化氫“干霧”消毒滅菌技術
由于利用閃蒸技術研制的汽化過氧化氫滅菌設備需要使用高濃度過氧化氫，腐蝕性較強，且設備價格高昂，在我國很難推廣應用。
隨著霧化技術的發展，利用特殊設備將消毒液霧化為小于 5μm 的小顆粒，這些小顆粒在空中可在短時間內其水分迅速揮發成為干顆粒，即所謂“干霧”技術。干霧的這些性質使得其擴散性較好，消毒滅菌時不留死角，不腐蝕設備、彩鋼板和墻壁。研究表明，霧化粒子越小，在空氣中懸浮時間越長，就越有機會與空氣中細菌充分接觸而達到消毒滅菌的目的。
該技術是利用文丘里( Venturi) 原理研制的一類霧化設備，是利用超高速的風機提供具有高動能的載氣( 空氣) ，載氣的高速流動使經過特殊設計的噴霧頭出口處出現局部高真空狀態，然后將過氧化氫液體通過精準計量的注液系統在這個局部真空中自由分散，加上載氣提供的強大剪切力，從而分散成接近亞微米的顆粒( 5 μm 左右) ，在載氣的帶動下呈螺旋狀噴射。
設備的優點
① 使用的過氧化氫濃度較低，腐蝕性較小;
②過氧化氫的使用量少；
③可快速高效的殺滅細菌、霉菌、病毒等，對枯黑有 6 個對數值的殺滅率;
④設備體積小；
⑤整個滅菌過程只需 3 ～ 5 h，環境便可恢復，與甲醛或臭氧熏蒸等傳統方法相比，可大大降低滅菌的時間成本;
⑥對環境溫度無特殊要求。
03 其他設備
還有過氧化氫噴霧技術則是利用壓縮空氣對過氧化氫進行霧化，這種設備不僅需要配備專門的壓縮空氣系統，而且霧化的顆粒較大，在空氣中不易在短時間內形成“干霧”，因而腐蝕性較大，不適合在含有彩鋼板和環氧地面的空間使用。近年來，國內很多企業已經具備生產霧化噴頭的能力，該類設備價格低廉，使用壽命不穩定。
無論是汽化過氧化氫滅菌技術還是過氧化氫“干霧”消毒滅菌技術，相比甲醛熏蒸和臭氧滅菌等傳統的空間滅菌技術，都具有較大的優越性，也使過氧化氫的消毒滅菌應用技術進入了一個新的發展階段。